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中文名稱. I-line光學步進曝光機. 英文名稱. I-line Stepper. 儀器廠牌型號. 荷蘭ASML PAS 5000/50. 購置年限. 2006年ITRI 捐贈(1990年製). 放置地點. 固態電子系統 ...
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